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         在多晶硅生产过程中，由于多晶硅行业的尾气粉尘具有颗粒细、高温、高硬度、耐磨的特点，所以使用效果较好的是材质采用316L的材料。如果过滤器选择不当，过滤器会堵塞或硅粉过滤不完全，影响下游工艺设备，严重影响系统的稳定运行。滤芯由316L金属粉末烧结制成。这种结构的硅粉过滤器可以抗腐蚀和高温环境。

       它具有以下特点:(1)过滤精度高，粉尘颗粒细小(0.3μm以下的颗粒)；(2)过滤效率高，0.3μm的颗粒过滤效率可达99.9%。 (3)滤芯孔隙率高，压降小，易反冲洗，强度高，能承受高反冲洗压力。(4)强度高、耐腐蚀、耐高压、耐火性好、使用寿命长，更适合腐蚀性、高粉尘硬度、磨蚀性的工况；(5)耐高温、抗热震。不锈钢设备和滤芯的耐温性可达560℃；(6)能承受交变载荷，抗冲击载荷和疲劳强度高。